ASOne是一种多功能RTP系统，可用于开发快速热退火和快速热CVD工艺。快速热退火(RTA)，注入退火，欧姆接触退火(III-V和SiC)，快速热氧化(RTO)快速热氮化(RTN)，硒化(CIGS太阳能电池)，石墨烯和h-BN(六方氮化硼)的CVD，聚合物的热退火等。AS One RTP系统可用于处理直径达100毫米或150毫米的基板。AnnealsysAS0ne系统有两种尺寸的反应器，可处理直径达100毫米(4英寸)或150毫米(6英寸)的基板。这台机器是专门为满足研究实验室和小规模生产的要求而开发的。高可靠性保证了低拥有成本。落地式配置和减少的占地面积，允许在洁净室中轻松安装，并便于维护。AS0ne系统具有不锈钢冷壁工艺室，可实现更好的工艺再现性和更高的冷却率。工艺室的特殊设计提供了用于快速泵送和吹扫的低体积以及工艺气体的低消耗。高温计和热电偶温度测量是标准功能。快速数字PID控制器在整个温度范围内提供精确且可重复的热控制。可完全接触底板，方便装卸基板，并可对处理室进行实际清洁。